往复式真空泵（简称往复泵）又叫活塞式真空泵，归于低真空取得设备之一。它与旋片式真空泵比较较，它能被制成大抽速的泵；与水环式真空泵比较，功率稍高。这类泵的首要缺陷是结构较为杂乱，体积较大，作业时振荡较大等。其在许多场合可由液环式真空泵所替代。
往复泵的结构和作业原理如图所示，首要部件有气缸1及在其间做往复直线，活塞的驱动是用曲柄连杆机构3（包含十字头）来完结的。除上述首要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅佐部件。
作业时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的效果，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，因为气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减小，而构成抽气进程，此刻被抽容器中的气体通过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞到达最右方位时，气缸左腔内就彻底充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此刻吸气阀5封闭。气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐步被紧缩，当气缸内气体的压力到达或稍大于一个大气压时，排气阀4被翻开，将气体排到大气中，完结一个作业循环。当活塞再左向右运动时，又重复前一循环，如此重复下去，被抽容器内终究到达某一安稳的平衡压力。
为进步抽气功率，一般在气缸的两头均设有吸气阀和排气阀，然后用管路将气缸两头的吸气口和排气口并联起来。
复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其本身的几许参数在影响抽气功能的一起也影响检漏仪的检测功能。
余摆线真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”，本文叙述了余摆线真空泵的作业原理与特色及运用。
清洁真空取得设备已发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品.在现有的无油真空泵傍边,无油涡旋真空泵与其他
汽蚀（Cavitation）是因为液流流道中的部分低压低于该处温度下液体的饱满蒸汽压使液体在该处汽化而引起很多微汽泡爆发性成长, 微
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